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Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387
Lingua
Inglese
Inglese
Libro
Rigido
The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in t...
Descrizione completa
Codice Libristo: 02060050
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67 b
IN PREPARAZIONE
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The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in traditional RTP processes such as dielectric growth, annealing and silicides, as well as developments in integrated processes. The primary focus, however, is the manufacturing aspects of RTP and the successful integration of RTP into production semiconductor fabs. Emphasis is placed on process and equipment modelling and the critical aspects of RTP, such as temperature measurement, uniformity and control. Topics include: modelling, sensors and control; integrated processing and manufacturing; dielectrics; epitaxy, polysilicon and devices; and junctions, metallization and contacts.
Informazioni sul libro
Titolo completo
Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387
Lingua
Inglese
Inglese
Rilegatura
Libro - Rigido
Data di pubblicazione
1995
Numero di pagine
455
EAN
9781558992900
ISBN
1558992901
Codice Libristo
02060050
Casa editrice
Materials Research Society
Peso
795
Dimensioni
160 x 231 x 30
