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Ion Sources

Lingua IngleseInglese
Libro Rigido
Libro Ion Sources hang Huashun
Codice Libristo: 01566924
Casa editrice Springer, Berlin, novembre 1998
Ion implantation has become a basic technology in device manufacturing. For efficient use of this ac... Descrizione completa
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Ion implantation has become a basic technology in device manufacturing. For efficient use of this accelerator-based technique the choice of appropriate ion sources is important. This book deals with the design and operation of ion sources. Additionally the physics of ion formation of the various elements with different charge states and charge neutralization are discussed. Ion selection and beam diagnostics are part of the book too. The presentation of the necessary equations and diagrams for the various parameters makes this book useful as a handbook for ion sources.

Informazioni sul libro

Titolo completo Ion Sources
Autore hang Huashun
Lingua Inglese
Rilegatura Libro - Rigido
Data di pubblicazione 1999
Numero di pagine 476
EAN 9783540657477
ISBN 3540657479
Codice Libristo 01566924
Casa editrice Springer, Berlin
Peso 894
Dimensioni 156 x 234 x 26

Categorie

Matematica e Scienze > Chimica > Chimica fisica > Chimica delle superfici e assorbimento
Matematica e Scienze > Fisica > Fisica nucleare
Matematica e Scienze > Fisica > Fisica delle particelle e delle alte energie
Tecnologia, Ingegneria, Agricoltura, processi industriali > Tecnologia: argomenti di interesse generale > Ingegneria: generale
Tecnologia, Ingegneria, Agricoltura, processi industriali > Ingegneria meccanica e dei materiali > Scienza dei materiali
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